近期，一则消息在各大视频平台广为传播，称北京清华大学EUV项目把艾司摩尔（ASML）的光刻机巨大化，要实现光刻机国产化，并透露这个项目已经在雄安新区落地。
EUV最难的部份在于光源，中国业界传出有意将光刻机巨大化，用一台周长100~150米的环形加速器作为「光源」，然后带动数台甚至数十台光刻机进行工作，换句话说，这不是单一台光刻机，这是光刻机工厂、晶片加工流水线的概念，上面有很多EUV光源束线，同时让好几个光刻机开工，整个光刻工厂中，一切设备都围绕这个光源来设计。
据业界人士分析指出，艾司摩尔造出的光刻机主要是为了出售给全世界，在运送机器的考量下就必须考虑小型化，光刻机的光源也必须小型化，如果中国自己造超大型光刻机，甚至真的造出能够满足各种制程的光刻机工厂，成本不但不会变高，反而会降低，因为使用量大就能降低成本。
巧合的是，在北京怀柔雁栖湖畔就用国家的资金，打造一个巨大的光源研发建筑物，巨大的环型建筑物造型，就被中国网友怀疑可能做为光刻机工厂的支撑资源，并将于2025年启用。
